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在現(xiàn)場(chǎng)看了一會(huì)之后，從越打了一個(gè)電話給熊院士，熊老，我剛回來(lái)，你那邊怎么樣了？電話那頭的熊院士心情看來(lái)不錯(cuò)，他笑著跟從越說(shuō)道：一切順利，經(jīng)過(guò)測(cè)試使用了193nm波長(zhǎng)的arf氟化氬準(zhǔn)分子激光光源，步進(jìn)式掃描投影方式的這兩臺(tái)光刻機(jī)最高芯片加工精度都超過(guò)了35納米，不過(guò)良品率目前還不能確定，這要依據(jù)所加工芯片的復(fù)雜度而定，聽(tīng)到這個(gè)好消息，從越也很高興，但是他也沒(méi)忘了問(wèn)熊院士另外一件事：熊老，你上次跟我說(shuō)的浸沒(méi)式步進(jìn)掃描有什么進(jìn)展沒(méi)有？熊院士玩笑道：不是我批評(píng)你啊，從總，你也太貪心了吧？這才幾個(gè)月??？你就想一個(gè)重大項(xiàng)目立刻有眉目，我可不是孫猴子，會(huì)七十二變，從越也笑道：我就是隨便問(wèn)問(wèn)，想了解一下，項(xiàng)目已經(jīng)完成立項(xiàng)，理論先行，目前可行性報(bào)告正在撰寫中，等完成論證就可以開(kāi)始下一步實(shí)驗(yàn)了。